10月27日，2021年中国MEMS制造大会（China MEMS）在苏州举行，这是目前中国MEMS行业最具影响力的大会，由中国唯一的MEMS行业组织——中国半导体行业协会MEMS分会联合微纳制造中试平台、中科院纳米所等举行，今年已经是第三届。

　　会上，举行了“2020年中国半导体MEMS十强企业”颁奖仪式，宣布了上一年度国内优秀的MEMS企业十强名单，该名单是目前国内最权威的MEMS企业名录，代表现在中国MEMS领域实力最强的10家头部企业。

　　歌尔微电子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麦克风及模组、智能传感器及模组、SiP封装等相关业务，专注于MEMS相关产品的自主研发设计与制造，其产品已广泛应用于智能手机、无线耳机、智能穿戴、智能家居、无人机及汽车电子等领域。

　　《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国微型麦克风代表性企业，在微型麦克风领域，市场占有率居世界同行业之首。据Yole Development 《202年MEMS产业现状报告》显示，歌尔在2020年全球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继去年首次跻身前十后，仅用一年时间排名升至第六，也是前十名中唯一一家中国企业，报告还指出，在MEMS麦克风方面，歌尔15年来首次超过楼氏电子成为行业第一。

　　上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比增长94.49%；上半年净利润17.31亿元，同比增长121.71%

　　瑞声科技控股有限公司为智能设备提供领先的微型专有技术解决方案，在声学、光学、触觉反馈、精密制造、微机电、无线射频和天线领域拥有材料研发、仿真、算法、设计、自动化以及工艺开发等尖端技术。

　　集团在设计和大批量高精密制造方面有近三十年经验，《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国电声元器件代表性企业，全球著名的电声元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS麦克风领域，分别被工信部认定为我国制造业单项冠军示范企业。现已成为全球领先的同行、IT及消费电子市场微型元器件整体方案供货商。

　　港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比增长9.90%；上半年净利润9.21万港元，同比增长187.40%

　　华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，是领先的半导体和智能传感器供应商，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

　　华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。

　　上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比增长45.44%；上半年净利润10.68亿元，同比增长164.86%

　　苏州敏芯微电子技术股份有限公司成立于2007年9月，是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业，公司总部在苏州工业园区，并在苏州工业园区、昆山设有传感器产品制造工厂。

　　目前，凭借自主知识产权的芯片设计，并与国际知名Fab厂和封装厂合作，完成了公司产品的研发与产业化，并带动了MEMS上下游产业链的发展。公司三大产品线分别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，应用场景涵盖了消费电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。

　　《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。敏芯作为中国最早成立的MEMS研发公司之一，现已拥有完整的芯片设计、晶圆制造、封装与测试等全产业链的自主研发设计能力，凭借完全自主设计的MEMS芯片与ASIC芯片成功打破了国外厂商长期垄断的格局，为MEMS全产业链的国产化探索了一条完整的道路。

　　上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比增长40.17%；净利润1021.77万元，同比增长-40.05%

　　中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单位，专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。

　　《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。优势产品包括MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等，产品广泛应用于航空航天、高铁、汽车、自动驾驶、通信、地震监测、物联网、智慧城市、智能家电等领域。

　　2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线 美新半导体（天津）有限公司

　　美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，在美国圣何塞和中国无锡、上海、深圳、台北设有研发机构，在中国无锡、上海拥有制造和封测工厂，销售及技术支持网络遍及亚太，北美，欧洲，非洲和中东等地区。

　　《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，原创开发了基于标准CMOS流程的微机电系统和全球领先的制造工艺和测试技术，成功研发出30多种型号的加速度传感器、磁传感器等产品。

　　2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新获得mCube独家授权其所有惯性传感器芯片技术，全面布局电容式加速度计和陀螺仪领域。最近完成10亿人民币A轮融资，国内最大的MEMS惯性传感器公司，拥有特色工艺MEMS生产线 苏州纳芯微电子股份有限公司

　　苏州纳芯微电子是高性能高可靠性模拟芯片的研发设计企业。公司自2013年成立以来，专注于围绕各个应用场景进行产品开发，由传感器信号调理ASIC芯片出发，向前后端拓展了集成式传感器芯片、隔离与接口芯片、驱动与采样芯片，形成了信号感知、系统互联与功率驱动的产品布局。

　　在混合信号处理、高耐压数字隔离、集成式传感器设计等领域拥有独立知识产权和丰富技术储备，产品已作为新能源汽车、工业自动化等应用的关键芯片，成功进入多个行业一线客户的供应体系并实现大规模量产。同时公司持续加大各应用场景的产品研发，产品被广泛应用于国内知名品牌客户，涵盖信息通讯、工业控制、汽车电子和消费电子等领域。

　　上海矽睿科技有限公司成立于2012年9月，专注于MEMS智能传感器业务，设计和生产优质传感器产品，并为客户提供相应的智能应用方案和服务。

　　矽睿科技拥有完全自主知识产权，申请并成功授权70余项国际国内发明专利，专利组合覆盖MEMS工艺制程、传感器设计和ASIC设计、算法和系统应用软件等。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，专业从事高端MEMS传感器和执行器、微系统等技术与产品的开发、生产及销售。

　　西人马联合测控成立于2017年，总部坐落于福建，北方总部坐落于北京、南方总部坐落于深圳，欧洲总部坐落于法国巴黎。西人马联合测控总人数近1000人，其中科研人员约600人，拥有超过500项专利，并以每年30%以上的速度递增。

　　EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，采用IDM模式，专注于传感器芯片及相关调理芯片的研发、设计、制造和封测。

　　作为一家IDM芯片供应商，西人马拥有先进的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的设计、制造、封测能力，基于这些先进的核心技术，西人马既可以单独给客户提供高品质的芯片产品，也可以提供相应的模组和解决方案，利用西人马先进的传感器、边缘计算产品和相应的开发套件帮助客户快速地搭建起具有监测与控制功能的A-IoT系统。

　　华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司合并而成，自建设中国第一条8英寸（200mm）集成电路生产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。

　　在8英寸制造平台上，华虹实现MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容。已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。

　　睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。

　　2020年7月，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。8、罕王微电子（IDM&代工）

　　罕王微电子是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。

　　罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，设计晶圆产能36万片/年。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。

　　9、河北美泰（IDM）中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。

　　6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线、厦门西人马（IDM）

　　西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。

　　西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，今年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。

　　奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。

　　2019年奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线，一期工程净化车间总面积约2500平方。