具成本优势,现广泛使用于胎压计,压力表,血压计,大气压计,高度计,天气预报,水深测量,空压控制等。本文旨在介绍以HY11P系列为控制芯片,对该
硅压力传感器由一桥式电阻所组成,分表压及绝压型式。表压以一个大气压为零点,而绝压则以真空为零点。
以传感器US9173而言,传感器Offset的温飘在0.08%/℃的范围内,一般在-0.02%/℃在右。在表压测量时,则可在加压前把Offset减掉便可。但在绝压测量时,必须要充份考虑。
另外,由于一般硅压力传感器的电阻温飘较大,所以若设定参考电压为输入电压的话,会造成Span的温飘会在-0.17~0.27%/℃左右。所以建议接一粒参考电阻,取参考电阻的电压差为参考电压。如图二:
因Rref的温飘比传感器的R小并且对温度反应比较规律。若用50ppm电阻的话,一般Span的温飘可以减至0.05%/℃以内,典型值为0.02%/℃之间,远比用VDDA作参考电压为佳。
但请注意TCO及TCS对温度并非是常数,若在应用上对温飘要求更高的话,可以对不同批号的传感器进行温度实验,得出平均TCS及TCO的温度曲线P的内置温度传感器测出温度变化,查出TCS及TCO值,作温度补偿。
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