专利摘要显示，本申请提供一种微机电压力传感器及其制备方法。该微机电压力传感器包括：第一衬底和位于其一侧的压敏感应组件，其中压敏感应组件包含压敏电阻；第一介质层，位置于压敏感应组件远离第一衬底的一侧，并内设有贯穿的空腔，该空腔在第一衬底上的正投影覆盖压敏电阻在第一衬底上的正投影；还有第二衬底，与第一介质层键合连接。本申请通过这样的结构设计，实现了微机电压力传感器封装尺寸小、制作工序简单等优点。
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