压力传感器芯片SCA2095原理及MEMS硅压阻式_ayx游戏官网(china)AYX在线最新官网下载

　　随着信息处理技术的不断提高，的研制与生产工艺的稳定性和可靠性也发生了革新，这在一定程度上推动了其应用发展（应用）。那么，对于的知识，我们又了解多少呢?小编通过搜集整理资料，对有关压力传感器

　　从材料上讲，压力传感器芯片可以分为：单晶硅的、多晶硅的、陶瓷的、水晶的、金属的、聚酰亚胺的等等;

　　从原理上讲，压力传感器芯片可以分为：应变式、压阻式、电容式、谐振式等(体重计上一般用的是应变片，应变片一般多为应变式或压阻式)。

　　压力传感器芯片SCA2095是应用于利用压阻效应，采用全桥设计的传感器(例如压力传感器、应力计、加速度计等)的信号调节电路集成的芯片。

　　SCA2095采用EEPROM进行校准、温度补偿，并具有传感器输出保护和诊断的功能。还能够更好调节增益和传感器电桥偏移，能修正灵敏度误差。

　　SCA2095芯片的外部数字接口采用三线制，即串行时钟SCLK、数据输出DO、数据输入DI。通过CPU的操作，设置零位偏移寄存器、温度寄存器、零点温度补偿寄存器、输出基准寄存器、增益温度补偿寄存器等。这些寄存器中的值通过D/A转换器变成模拟量叠加在调理电路中，从而改善了传感器特性。

　　MEMS硅压阻式压力传感器芯片采用周边固定的圆形的应力硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路的，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图所示，