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平行板型电容式压力传感器是最常见的类型之一，由两个平行板组成，其中一个板固定，另一个板可移动。在压力的作用下，可移动板产生位移，导致两板之间的距离发生变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是结构简单、易于制造、线性度好、动态响应快、稳定性好等。但它的缺点是灵敏度较低，需要增加极片数来提高灵敏度，同时也容易受到温度和湿度的影响。电容弯曲型压力传感器由上下两层薄膜组成，中间是空气或气体。当受到压力作用时，上下两层薄膜发生弯曲变形，导致两层薄膜之间的距离发生变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度高、测量范围广、过载能力强、温度稳定性好等。但它的缺点是结构复杂、制造难度大、需要高精度控制。变面积型电容式压力传感器由一个固定极板和一个可移动极板组成，可移动极板的面积小于固定极板。在压力的作用下，可移动极板产生位移，导致两极板之间的面积发生变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度高、线性度好、温度稳定性好等。但它的缺点是结构复杂、制造难度大、需要高精度控制。变间隙型电容式压力传感器由两个平行板组成，其中一个板可移动。在压力的作用下，可移动板产生位移，导致两板之间的距离发生变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度高、动态响应快、测量范围广等。但它的缺点是线性度差、容易受到温度和湿度的影响、稳定性差等。
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