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士兰微取得MEMS传感器制备专利提高器件的可靠性
发布时间:Monday 27th of May 2024 02:43:52 PM 来源:AYX在线 作者:ayx最新官网下载

  金融界2023年12月28日消息,据国家知识产权局公告,杭州士兰微电子股份有限公司取得一项名为“MEMS传感器及其制备方法“,授权公告号CN112357875B,申请日期为2020年11月。

  专利摘要显示,本发明提供了一种MEMS传感器及其制备方法,在第一衬底和所述第二衬底的正面形成相应的电极层之后,并通过键合工艺将第一衬底和所述第二衬底的正面键合在一起,将电极层密封在键合形成的空腔内,电极层通过导电连接结构或直接与第一衬底的正面的压点电性连接。相当于利用了MEMS工艺实现了器件的制备,提高了器件的可靠性,降低了制备难度,并且还可以简化后续进行的封装步骤。

  证券之星估值分析提示士兰微盈利能力一般,未来营收成长性一般。综合基本面各维度看,股价偏高。更多

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