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增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线
发布时间:Wednesday 17th of April 2024 02:46:31 PM 来源:AYX在线 作者:ayx最新官网下载

  据悉,本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台,也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备,运用了中微具有自主知识产权的创新技术,是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。

  据悉,本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台,也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备,运用了中微具有自主知识产权的创新技术,是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。该设备的搬入,是继项目“920封顶”以来的重要交付,标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工,项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。

  此前消息显示,该项目占地面积达370亩,分两期建设。根据规划,增芯项目将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线月通线。


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