MEMS，也即微电子机械系统，是现代常用器件之一。对于MEMS，小编在前两篇文章中有所阐述。为增进大家对MEMS的认识，本文将基于两点介绍MEMS：1.什么是MEMS，S压力传感器介绍。在本文中，你将对MEMS的定义、MEMS压力传感器相关知识具备初步的了解。

　　MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

　　MEMS压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统。它可以使用在制作工艺和电路设计上，低成本而高精度地进行大量的生产。其实传统的压力传感器是在当金属弹性体受到外力的作用而导致变形的时候，经过机械量的弹性的变形，然后待电量转换之后再输出，因此，MEMS压力传感器的优越性有很多，尺寸很小，性价比很高。它主要分为两种：硅电容式和硅压阻式。

　　根据MEMS的有关技术，制造出电容式传感器的形状为横隔栅状的，上面跟下面的两根横隔栅就可以组成一组传感器。当上横隔栅受到压力作用的时候，就会向下移动，接着，就会使上面跟下面的两根横隔栅之间的距离发生改变，换句话说，板之间的电容量就会发生变化。硅压阻式压力传感器使用了精密度很高的半导体电阻应变片来形成惠更斯电桥，这样就可以利用它来作为力电变换来测量有关的电路。它的成本较低、功耗较低、测量的精密度较高。这种传感器，如果压力没有发生变化，那么它的输出就为零，所以几乎是不需要耗电的。

　　而MEMS硅压阻式压力传感器就是应用了四周的固定、形状为圆形的应力杯硅薄膜的内壁，同时应用MEMS的有关技术，可以直接地把四个精密度高的半导体应变片直接地刻制到它的表层应力最大的地方，这样就可以形成惠更斯电桥，因此可以作为力电变换来测量电路了，这是直接地把压力转换成为电量而测量的。

　　MEMS压力传感器的应用非常广泛，工业电子：工业配料称重、数字流量表以及数字压力表等等。消费电子：太阳能热水器用液位控制压力传感器、洗碗机、饮水机、洗衣机、空调压力传感器，微波炉、健康秤以及血压计等等。汽车电子：柴油机的共轨压力传感器、汽车发动机的进气歧管压力传感器、汽车刹车系统的空气压力传感器以及发动机的机油压力传感器等等。

　　现在很多集成电路之中的四寸圆形的晶片的很多工艺都是MENS生产出来所用的。但一定要加上三个MEMS工艺的特有设备：键合机、双面光刻机以及湿法腐蚀台。对于压力传感器生产商来说，一定要加上价格很昂贵的标准的压力检测的设备。而MEMS生产商，他们很需要开拓消费电子和汽车电子的范畴的渠道以及销售的经验。尤其是汽车电子，它对于MEMS压力传感器来说，是越加的重要，在最近几年的时间里，它的需求量增加得很快。例如：捷伸电子每一年对它的需求量已经达到二百到三百万个了。随着科技的进步，MEMS压力传感器在市场上的需求量会越来越大的，而且它的发展前景无比广阔。关键字：引用地址：科普文章—MEMS压力传感器原理

　　以出色的精准度及稳定性为物联网应用带来更轻薄的动作感测活动 中国，2014年3月31日 ——横跨多重电子应用领域、全球最大的MEMS制造商、全球领先的消费性电子与移动应用MEMS供应商意法半导体 （STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM）宣布，其六轴惯性传感器模块LSM330及三轴加速度计LIS3DSH获创新穿戴式解决方案设计厂商麦斯威科技（Maxwell Guider Technology）采用，用于开发适合各代移动生活的低功耗动作感测活动（motion-sensing activity tracker）。 麦斯威科技首席执行官Morgan Yang表示：“简单的

　　据彭博社报道，瑞声科技近日宣布在英国设立MEMS麦克风全球研发中心，以加速其在微机电领域的全球布局。 据了解，2020年1月瑞声科技通过自主研发核心技术，成功量产70dB高信噪比MEMS麦克风，跻身世界微机电顶尖供应商序列，这也是中国芯片在该领域首次实现零的突破，其产品比现有市场同类产品性能更强，功耗降低30%，成本降低50%。 目前，瑞声科技已经与亚马逊、三星、小米、OPPO和vivo等品牌在MEMS麦克风领域建立了良好的合作关系。 瑞声科技爱丁堡MEMS研发中心负责人表示，随着爱丁堡研发中心的正式投入使用，瑞声科技MEMS麦克风技术将面向“下一代”产品进行开发，朝着更小尺寸、更高信噪比、更低功耗、更强性能的方向发展。 此外

　　1.引言 汽车传感器是汽车电子化、智能化的基础和关键， 而其中使用较多、发展最快的是压力传感器。汽车压力传感器应用在汽车的很多系统中，如电子检测系统、保安防撞系统等。其中应用在轮胎气压方面的目的在于最大限度地减少或消除高压爆胎和低压辗胎造成的轮胎早期的损坏， 使轮胎经常保持标准气压， 延长轮胎的寿命，降低轮胎的消耗，提高经济效益。有报道说，将微型压力传感器埋置于汽车轮胎中，测量其中气压， 以控制对轮胎的充气量，避免过量和不够，由此可节省百分之十的汽油。 2.汽车压力传感器 2.1 压力传感器的原理和应用分类 传感器是将各种非电量（包括物理量、化学量、生物量等）按一定规律转换成便于处理和传输的另一种

　　近年来,我国冠心病患者的发病率不断上升,已成为人类健康的第一杀于经皮冠状动脉介入治疗(PCI)是现阶段我国临床治疗冠心病患者的常用方法,白1984年成功开展第1例以来,我国接受PCI治疗的患者正在以每年10%~20%的速度增长,至2012年已达70万例。但较长一段时间的临床应用发现一部分患者接受冠状动脉支架植人治疗的效果与强化口服药物洽疗获得的疗效比较并无显著性差异,且前者的医疗费用更高。因此,如何规范PCI的开展已成为临床重点研究课题之一近年来,不断有临床研究发现FFR可对冠状动脉病变远端血流进行测定，能够对冠脉支架植入治疗进行指导，有利于减轻医疗资源浪费和患者的经济负担。 FFR概念于上个世纪90年代初期被提出,其定义为存

　　在过去十年中，GPS定位已经从主要由专业人员使用的专用高端技术转变为消费者日常使用的一种技术。这种转变是具有GPS功能的两代器件在大众化设备中普及GPS定位功能的结果。本文将讨论下一个令人兴奋的GPS发展阶段，它能解决用户经常在最需要的时候无法获得GPS定位信息的问题。 在过去十年中的早些时候，出现的第一代设备是配件市场中的个人导航设备(PND)，它以大众化的价位实现了转弯提示导航功能。发展第二阶段的标志是智能手机的出现。今天的智能手机可以提供各种定位功能，并且主要依赖GPS功能实现精确的定位和转弯提示导航应用。具有GPS功能的智能手机不仅将转弯提示导航应用扩展到了行人、骑车者和司机，而且能够向任何智能手机应用提供定位能力

　　据麦姆斯咨询报道，近日，罕王微电子(辽宁)有限公司总裁黄向向女士、执行副总裁Douglas Sparks博士以及全球首席市场/营销总监Laura Kendall女士携罕王微电子展团，盛大亮相 “2017传感器与 MEMS 技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展”与“中国国际纳米技术产业博览会(CHInano2017 Conference& Expo)”，Douglas Sparks博士在大会上做了主题发言。下面就随网络通信小编一起来了解一下相关内容吧。 罕王微电子展台@中国国际纳米技术产业博览会 罕王微电子执行副总裁Douglas Sparks博士 Douglas Sparks博士在发言中介绍，罕王微电子投资建设

　　摘要 MEMS传感器包括加速度计(ACC)、陀螺仪(GYRO)、磁力计(MAG)、压力传感器(PS)和话筒(MIC)。因为低成本，小尺寸，低功耗，高性能，MEMS传感器近几年来被集成到便携设备内。 快速的CPU、多任务处理的操作系统、高灵敏度GPS接收器、3G / 4G无线通信芯片组、高分辨率数字摄像头、触摸屏LCD显示屏和大容量存储器是智能手机的共同特性。MEMS传感器的用途不再局限于当前的应用领域，例如，屏幕旋转、省电、运动检测、数字罗盘和3D游戏。目前导航厂商正在开发更先进的MEMS传感器应用，例如，增强实境(AR)、定位服务(LBS)、行人航位推算系统(PDR)。 本文将论述MEMS传感器在先进移动应用中的作用，例

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