荷兰 埃因霍温，中国 济南，2022年11月15日——业界领先的环境和高精度流量和时间测量传感芯片厂商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用紧凑型封装的内置温度传感器的超低功耗压力传感器--ENS220，可提供卓越的测量速度、分辨率和精度。

　　该传感器采用业界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封装，适用于移动设备和可穿戴设备，如智能手表和腕带、GPS导航系统以及个人健康监测设备。

　　ENS220的相对压力测量精度达±2.5Pa，换算成海拔或高度时，相当于83m高度差下±21cm的精度；使用最高采样率时，典型噪声水平为0.85Pa（RMS）。将二者相结合，能检测到小至7cm的高度变化，适用于室内导航和定位、活动跟踪和跌倒检测应用。

　　这些应用均得益于ENS220的高速采样、低噪声、高分辨率与高精度。测量分辨率高达1/64Pa,输出数据速率可由用户配置，最高可达1kHz，方便客户在时延与功耗间取得最佳平衡。ENS220高速采样下的高精度使其特别适用于跌倒检测等需要以高精确度连续高速测量微小变化的应用。

　　ENS220功耗极低, 在额定供电电压为1.8V、采样率为1KHz时，工作电流小于80µA；每分钟采样一次时，工作电流仅为0.8µA；待机模式下工作电流为0.1µA。

　　为小型表面贴装压力传感器带来全新的技术路线是压力传感器领域的重大技术创新。传统的压力传感器一般由MEMS传感与ASIC电路两个独立单元通过连接线的独特之处在于MEMS传感和ASIC电路都实现在同一个CMOS die上，是单芯片（Monolithic）解决方案。

　　CMOS-MEMS单芯片架构消除了传统传感器中MEMS与CMOS接口上产生的寄生参数。此外，通过CMOS-MEMS架构，ScioSense还能让压力薄膜的电容与信号处理电路的电容进行完美匹配，最大限度降低内部电路（包括24位ADC）的噪声。由此带来的好处主要有：

　　ENS220的内置温度传感器的分辨率达8mK，精度达±0.2K，可确保在300hPa至1,200hPa的测量范围内（-40℃至85℃）对压力输出进行可靠的温度补偿。

　　ScioSense首席执行官Dirk Enderlein表示：“ENS220是多年来压力传感器市场的重大突破，相比传统的MEMS压力传感器，ScioSense在CMOS中实现了整个传感器及电路, 底噪得到大幅降低，同时提高了灵敏度并缩短了转换时间。对于需要在高采样率下实现高准确性、高精度的高度测量或海拔测量的应用而言，ENS220应该是压力传感器的最佳选择。”

　　睿感（ScioSense）总部位于中国济南及荷兰埃因霍温，在中国上海和深圳、德国、意大利、美国等设有分部，是一家集研发设计生产销售于一体的环境和高精度流量和时间测量传感芯片制造商。其产品组合包括湿度、气体/空气质量、温度、压力, 氢能源以及高精度流量和时间测量芯片，适用于智能家居/楼宇、家用电器、物联网/可穿戴设备、汽车和工业应用。

　　关键字：引用地址：睿感（ScioSense）推出基于CMOS-MEMS工艺的单芯片压力传感器

　　压力传感器属于 压力仪表 的一种，生产出来一般都要进行检测，有些客户拿到压力传感器时也习惯自己检测一下，但是客户一般没有系统的器件进行检测，一般都是用万用表进行简单检测。如何用万用表进行简单检测呢？ 万用表对压力传感器检测 用万用表检测压力传感器只能进行简单的检测，检测结果也只供参考。大致可以进行三项检测，桥路的检测，主要检测传感器的电路是否正确，一般是惠斯通全桥电路，利用万用表的欧姆档，量输入端之间的阻抗、以及输出端之间的阻抗，这两个阻抗就是压力传感器的输入、输出阻抗。 如果阻抗是无穷大，桥路就是断开的，说明传感器有问题或者引脚的定义没有判断正确。零点的检测，用万用表的电压档，检测在没有施加压力的条件下，传感器

　　1 引言 大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般为机械式，体积比较大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技术不仅可以解决上述缺点，还能极大地降低成本，而性能更为优异。如今基于MEMS技术得到广泛应用的压力传感器主要有压阻式和电容式两大类，压阻式压力传感器的线性度很好，但精度一般，温漂大，一致性差;电容式压力传感器与之相比，精度更高，温漂小，芯片结构更具鲁棒性，但线性度差且易受寄生电容的影响。目前MEMS电容式压力传感器多用于过压测量，用于气象压力测量的较少且价格昂贵。为此，本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器，整个流程工艺简单标准，薄膜材料选

　　在挤出生产线中，熔体压力传感器在提高熔体质量，提高生产的安全性以及保护生产设备等方面都发挥着重要的作用。同时，熔体压力传感器又是非常敏感的元件，只有适当的安装和维护才能使其作用得到充分的发挥。 在挤出生产过程中，产品的一些质量标准（如尺寸精度或加入矿物填料制件的表面平整度等）都要求对挤出压力进行最优化的控制，熔体压力传感器是实现这一要求的重要元件。通过在 模具 入口连接处设置熔体压力传感器和压力控制装置，能够使产率更稳定，同时减少材料的浪费。熔体压力传感器在提高熔体质量，提高生产的安全性以及保护生产设备并延长其使用寿命等方面都发挥着重要的作用。 另外，测量穿过滤网和熔体泵的压力对于保证生产的安全性以及优化设备的性能也是十分

　　汽车传感器是汽车电子化、智能化的基础和关键， 而其中使用较多、发展最快的是压力传感器。汽车压力传感器应用在汽车的很多系统中，如电子检测系统、保安防撞系统等。其中应用在轮胎气压方面的目的在于最大限度地减少或消除高压爆胎和低压辗胎造成的轮胎早期的损坏， 使轮胎经常保持标准气压， 延长轮胎的寿命，降低轮胎的消耗，提高经济效益。有报道说，将微型压力传感器埋置于汽车轮胎中，测量其中气压， 以控制对轮胎的充气量，避免过量和不够，由此可节省百分之十的汽油。 简单的信号调节电路应该允许放大器的输出与所使用的传感器相互独立，提供互换性和高电平输出并且成本低廉。传感器补偿板上的激光调整电阻调节外部放大器的增益使之与压力灵敏度变化归一化。 图所

　　的电路设计 /

　　在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准。待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内；有时离开膜边的距离仅为30P”。正反图形错开时，力敏电阻条对压力灵敏度响应便不对称，甚至有时有可能移到膜外，对压力便无响应。这种错位既可以有平移错动，也可以有角度错开。一般要求对形误差小于20。30”M．角度偏差约在30以内。 国外目前有成套的大型双面光刻装置．正反面对准同时曝光，操作十分方便。国内也进口了这种双面光刻机，但价格昂贵。因此国内许多研究传感器工作者提出了简易的双面光刻对准技术。对现有朗单面光刻机不作或只作很小的改动，且只需单光源．因而价廉、操作简便。光刻图形质量和精度都能满足要求

　　0.76mm厚，唯一采用一次性成形塑料封装的压力传感器，实现更高的测量精度。 中国，2014年12月15日 —— 横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商、世界最大的MEMS制造商、全球最大的消费性电子及移动MEMS供应商 、全球最大的汽车MEMS产品供应商 意法半导体（STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM）进一步扩大环境传感器的产品阵容，推出新款具有开创性的压力传感器。新产品LPS22HB是全球最小的压力传感器，具有高测量精度、稳固封装设计、超小尺寸等优势。 目前压力传感器被集成到越来越多的消费电子产品与可穿戴装置中，例如智能手机、平板电脑、运动手表、智能手表以及手

　　汽车电子控制系统遵循常规控制系统的基本逻辑，包括：感知、控制、执行三大环节。传感器作为获取系统及环境状态的感知单元，控制单元结合传感器输入信号及控制逻辑计算来输出控制指令，执行器完成相应动作，形成闭环控制。 汽车传感器种类繁多，按传感器门类来说包括压力、温度、气体、加速度、角度、位置、转速等。除此之外，还包括摄像头、雷达等新型传感器子系统。 以压力传感器为例，其广泛使用于发动机管理系统、舒适系统、传动系统和安全系统等。其中，MEMS压力传感器因尺寸小、灵敏度高、成本低等特点，在5~500kPa量程范围内的中低压力量程应用中占据主要地位。MEMS压力传感器一般以硅基实现信号感知，通过信号调理电路实现敏感器件的小信号校准、放大

　　在汽车中的应用 /

　　引言 美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车压力系统的压力检测。 1 传感器原理及封装设计 为了将压力信号转化为电信号采用了应变原理，将惠斯顿检测电桥通过MEMS技术制作在单晶硅片上。使得单晶硅片成为一个集应力敏感与力电转换为一体的敏感元件。如图1所示。   图1敏感元件 当硅芯片受到外界的应力作用时，硅应变电桥的桥臂电阻将产生变化，一般都为惠斯顿电桥检测模式。如图2所示。   图2惠斯顿电桥 其输出电压表示为

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