产品详细信息
【成果简介】项目产品技术具有完全自有知识产权，48所1986年创作性提出采用离子束溅射技术制造薄膜压力传感器的技术路线，该路线与国外普遍采用的磁控溅射比较，具有膜层粘附力强，致密、均匀等特点，是先进的薄膜制备工艺路线。薄膜压力传感器广泛应用于航空、航天、石油、船舶等领域，具有高可靠、大量程、耐恶劣环境等特点。如：柴油发动机油轨压力监测、高精度大量程气压监测等。产品技术成熟度高，已经在包括飞船、商用卫星、导弹、火箭、飞机、航空发动机、战车、船舶等装备中得到广泛应用。
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